射頻電源TS10-F004-30

ADTEC公司是一家專注于射頻等離子體處理設備的制造商，致力于設計、應用、開發等離子體射頻產品。制造產品有：RF Plasma Generators射頻等離子體發生器、Matching Networks匹配網絡、Cold Plasma冷離子、DC Power Supplies直流電源、Bipolar Power Supply雙極電源。 我司常修的型號有（電源常見故障有：通電跳閘、通電無顯示、互鎖信號丟失、散熱風扇異常、環境溫度異常、冷卻水溫度異常、結露、內部通訊故障、電源無法啟動、反射功率到達極限、入射功率達不到設定值、輸入交流電源異常、內部直流電源異常、無振蕩信號等）： TX-5000-400 TX10-D000-00-1 TS05-Y000-3B TS10-F004-30 TS05-F004-30 AX-300 AX-300III AX-600III AX-1000 AX-1000Ⅱ AX-1000Ⅲ AX-1000LFⅡ? AX-1000AMⅡ AX-2000 AX-2000III AX-2000EUⅡ AX-3000 AX-3000II AX-3000III AX-4000Ⅱ AX-4000III-40M-U1 AX-7500W AX-10000W-PSK AX-10000W-PSK AX-10000W-AKT TR-3000-E13-MT PlasmaTact 50 PlasmaTact 15 維修的匹配器型號如下（匹配器常見故障有：安全鎖信號異常、反射功率偏高、入射功率偏低、輸出功率不穩、匹配器無反應、不能自動匹配等）： AM-1315 AMVG-1000-GJ AMVG-10000-RC AMVG-2000-CG AMVG-5000-RL AMVG-5000-RW AMVG-5000-TA-PL AMVG-RCM1-RC AMVG-2000-RT